میکروپروب

میکروپروب یک وسیله است که یک پرتو پایدار و متمرکز از ذرات شار (الکترون یا یون) را به یک نمونه اعمال می کند. 

هنگامی که پرتو اولیه متشکل از الکترون های شتابدهنده است، پروب نامیده می شود میکرو پروب الکترون، زمانی که پرتو اولیه متشکل از یون های شتابدهنده، میکرو پروب یون یون استفاده می شود. اصطلاح microprobe نیز ممکن است برای روشهای تحلیل نوری مورد استفاده قرار گیرد، زمانی که دستگاه برای تجزیه و تحلیل نمونه های کوچک و یا مناطق کوچک نمونه های بزرگتر تنظیم شده است. چنین تکنیکهایی شامل طیف سنجی رامان، طیف سنجی میکروسیمترهای قرمز و میکروسکوپ LIBS هستند. همه این تکنیک ها شامل میکروسکوپ های نوری تغییر یافته برای تعیین منطقه مورد نظر، پرتو پروب را هدایت می کنند و سیگنال تحلیلی را جمع آوری می کنند.

یک میکروپروب لیزر یک طیف سنج جرمی است که با استفاده از لیزر پالسی و یون سازی تولید شده یونیزاسیون از آن استفاده می شود.