| ش | ی | د | س | چ | پ | ج |
| 1 | 2 | 3 | 4 | |||
| 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 |
| 12 | 13 | 14 | 15 | 16 | 17 | 18 |
| 19 | 20 | 21 | 22 | 23 | 24 | 25 |
| 26 | 27 | 28 | 29 | 30 | 31 |
انواع لیزرهای اگزایمر به طور معمول در طول موج های بین 157 تا 351 نانومتر منتشر می شوند:
| F2 (fluorine) | 157 nm |
| ArF (argon fluoride) | 193 nm |
| KrF (krypton fluoride) | 248 nm |
| XeBr (xenon bromide) | 282 nm |
| XeCl (xenon chloride) | 308 nm |
| XeF (xenon fluoride) | 351 nm |