ش | ی | د | س | چ | پ | ج |
1 | 2 | 3 | 4 | |||
5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 |
12 | 13 | 14 | 15 | 16 | 17 | 18 |
19 | 20 | 21 | 22 | 23 | 24 | 25 |
26 | 27 | 28 | 29 | 30 | 31 |
سیستم های میکرو اپتو الکترومکانیکی (MOEMS) کلاس خاصی از سیستم های میکرو الکترومکانیکی (MEMS) نیست، بلکه ترکیبی از MEMS با میکرو اپتیک ادغام شده است؛ این شامل سنجیدن یا دستکاری سیگنال های نوری در مقیاس بسیار کوچک با استفاده از سیستم های مکانیکی، نوری و الکتریکی می باشد.