| ش | ی | د | س | چ | پ | ج |
| 1 | 2 | 3 | 4 | |||
| 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 |
| 12 | 13 | 14 | 15 | 16 | 17 | 18 |
| 19 | 20 | 21 | 22 | 23 | 24 | 25 |
| 26 | 27 | 28 | 29 | 30 | 31 |
ستون پلاسما
در هنگام رسوب ، کربن بی شکل از طریق یک لیزر KrF با انرژی زیاد از یک هدف جامد تبخیر شده ، یونیزه می شود و به عنوان یک توده پلاسما خارج می شود. ستون به سمت خارج منبسط شده و مواد مورد نظر را بر روی یک لایه رسوب می دهد. خصوصیات پلاسمائی ستون کیفیت فیلمهای نازک رسوب شده روی بستر را تعیین می کند.