نمونه هایی از کاربردهای لیزر اگزایمر
انرژی بالای فوتون و قدرت پیک فوق العاده زیاد نور ماورا بنفش ساطع شده از لیزرهای اکسایمر بسیار جذاب است و تحقیقات کاربردی در زمینه های مختلفی در حال انجام است تا ببیند آیا می توان از این نور قوی استفاده کرد یا خیر. به عنوان مثال ، مارک گذاری موادی وجود دارد که با لیزرهای CO2 یا لیزرهای YAG ، پردازش انحرافی فیلمهای ماکرومولکولی ، فیلمهای نازک نیمه رسانا و غیره ، اصلاح سطح رزینها مانند تفلون و غیره ، فرآیندهای ساخت نیمه هادی مانند دوپینگ ، رسوب گذاری مشخص نمی شوند. ، و پردازش سوراخ برای TSV.
یکی از موفق ترین نمونه ها در این میان منبع نوری است که در لیتوگرافی نیمه هادی تولید شده توسط Gigaphoton استفاده می شود.
همچنین ، همراه با افزایش تعریف بلورهای مایع در سال های اخیر ، بازپخت لیزر برای تولید کریستال مایع مورد توجه قرار گرفته است. این یک فرآیند ضروری در ساخت پلی سیلیکون دمای پایین پلی کریستال (LTPS) است.