تخلیه سد دی الکتریک: تاریخچه ، فیزیک تخلیه و کاربردهای صنعتی آنها

تخلیه های سد دی الکتریک (تخلیه های بی صدا) در مقیاس بزرگ صنعتی استفاده می شود. آنها مزایای خواص پلاسمای غیر تعادلی را با سهولت عملکرد فشار جو ترکیب می کنند. یک ویژگی برجسته مقیاس پذیری ساده از راکتورهای آزمایشگاهی کوچک تا تاسیسات بزرگ صنعتی با توان ورودی مگاوات است. منابع تغذیه تمام حالت جامد کارآمد و مقرون به صرفه موجود است.   دامنه فرکانس ترجیحی بین 1 کیلوهرتز و 10 مگاهرتز ، دامنه فشار ترجیحی بین 10 کیلو پاسکال و 500 کیلو پاسکال است. کاربردهای صنعتی شامل تولید ازن ، کنترل آلودگی ، تصفیه سطح ، لیزرهای CO2 با قدرت بالا ، لامپ های اکسیمر ماورابنفش ، لامپهای فلورسنت بدون جیوه مبتنی بر اگزایمر و نمایشگرهای مسطح بزرگ پلاسما است. بسته به نوع کاربرد و شرایط عملیاتی تخلیه می تواند دارای ساختار رشته ای برجسته یا ظاهری نسبتاً پراکنده باشد. تاریخچه ، فیزیک تخلیه و شیمی پلاسما تخلیه های سد دی الکتریک و کاربردهای آنها به طور مفصل بحث شده است.