مکانیسم عملکرد لیزر اگزایمر
ECLA از لیزر تحریک کننده تک رنگ زنون کلراید برای تولید انفجارهای نور ماورابنفش در 308 نانومتر با فرکانس پالس 25-80 هرتز ، دامنه نفوذ 30-80 میلی ژول در میلی متر و عمق نفوذ کمتر از 10-50 میکرومتر استفاده می کند. با هر پالس ، نور جذب می شود. نور به شکلی مشابه به راحتی توسط پلاک و ترومبوس جذب می شود [9]. جذب انرژی نور تقریباً بلافاصله یک موج فشار ناشی از لیزر را آزاد می کند. موج فشار جابجایی سریع سیال را آغاز می کند ، که منجر به تشکیل حباب بخار می شود