| ش | ی | د | س | چ | پ | ج |
| 1 | 2 | 3 | 4 | |||
| 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 |
| 12 | 13 | 14 | 15 | 16 | 17 | 18 |
| 19 | 20 | 21 | 22 | 23 | 24 | 25 |
| 26 | 27 | 28 | 29 | 30 | 31 |
آزمایشگاه NEMS / آزمایشگاه حسگرهای میکرو و نانو
آزمایشگاه حسگرهای میکرو و نانو بر روی فیزیک و کاربردهای سیستم‌های نانوالکترومکانیکی (NEMS) تمرکز دارد. از جمله فعالیت‌های این آزمایشگاه می‌توان به ساخت دستگاه‌های NEMS تشدید کننده با فرکانس در محدوده‌های VHF و UHF، طرح‌های فعال‌سازی و تشخیص جدید در این فرکانس‌ها و ابعاد نانو، مطالعه فرآیندهای نویز حاکم بر پایداری فرکانس این دستگاه‌های فوق حساس و کاربرد آن‌ها در کاربردهای مختلف از جمله طیف سنجی جرمی NEMS و سنجش گاز. تسهیلات شامل یک سیستم طیف سنجی جرمی مبتنی بر NEMS، دو انجماد سیکل بسته با قابلیت رسیدن به زیر 10K، یک سیستم خلاء فوق العاده بالا برای بررسی نویز فرکانس در دستگاه های NEMS و تجهیزات مشخصه الکتریکی از جمله تحلیلگرهای طیف و منابع سیگنال مایکروویو است.