لیزر اگزایمر کلرید زنون (XeCl) شامل زنون - یک گاز نجیب - و کلر - یک هالوژن - ترکیب شده و به عنوان یک ماده لیزر عمل می کند. زنون یک گاز نجیب بی رنگ ، بی بو ، سنگین و پایدار است ، در حالی که کلر یک گاز سبک به رنگ زرد و سبز با میل الکترونی قوی است. این لیزر با استفاده از تخلیه مایکروویو برای تحریک محیط لیزر در آزمایشگاه تحقیقات اختراع شد.
لیزر اکسیمر کلرید زنون می تواند به طور خود به خود اشعه تولید کند یا تحریک شود. اتم زنون انرژی را از منبع انرژی جذب می کند و با گاز کلر واکنش می دهد و یک مجموعه موقتی را ایجاد می کند. این مجموعه موقت قادر به انتشار یا تحریک خود به خودی و در نتیجه لیزر اکسایپلکس است که در منطقه ماورا بنفش طیف الکترومغناطیسی قرار دارد و طول موج آن 308nm است. در هنگام کار با این لیزر باید اقدامات احتیاطی ایمنی انجام شود ، زیرا هنگام قرار گرفتن در معرض اشعه ماورا بنفش به چشم انسان آسیب می رساند. گوشت انسان همچنین باید از اثرات بالقوه سرطان زای اشعه ماورا بنفش حاصل از این لیزر محافظت شود.
کاربردهای لیزر زنون کلراید عمدتا در درمان تعدادی از شرایط پوستی است. همچنین در میکرو ماشینکاری بافتهای آلی و انجام سایر جراحی های ظریف که به دقت نیاز دارند ، استفاده می شود. همچنین به عنوان منبع پمپ برای لیزرهای رنگ قابل تنظیم استفاده می شود.