| ش | ی | د | س | چ | پ | ج |
| 1 | 2 | 3 | 4 | |||
| 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 |
| 12 | 13 | 14 | 15 | 16 | 17 | 18 |
| 19 | 20 | 21 | 22 | 23 | 24 | 25 |
| 26 | 27 | 28 | 29 | 30 | 31 |
در این فصل برخی از اصول اساسی پلاسمای همسو با القا فرکانس رادیویی مسطح (یا RF ICP) از جمله حالت های مختلف عملکرد ، هیسترزیس بین حالت ها ، تعادل قدرت حالت های کارکرد پلاسما و دینامیک میدان های الکترومغناطیسی منبع در حضور پلاسما بررسی می شود. . این خصوصیات با نشان دادن چندین مدل نظری مورد بحث قرار می گیرند. مشخصات و اثرات گرمایش گاز خنثی و همچنین روش اندازه گیری دمای گاز خنثی نیز ارائه شده است. این فصل با بحث در مورد کاربردهای ICP های مسطح RF و توسعه آنها در طول سالها به پایان می رسد.