سیستم های میکرو الکترو مکانیکی

سیستم های میکرو الکترو مکانیکی (MEMS) یک کلاس از دستگاه ها و سیستم های مینیاتوری هستند که توسط فرآیندهای میکروماشین سازی ساخته شده اند. دستگاه های MEMS دارای ابعاد بحرانی در محدوده 100 نانومتر تا 1000 میکرومتر (یا 1 میلی متر) هستند. فناوری MEMS پیشرو در زمینه نسبتاً پرطرفدار نانوتکنولوژی است که به علم ، مهندسی و فناوری زیر 100 نانومتر به مقیاس اتمی اشاره دارد. گاهی اوقات ، دستگاه های MEMS با ابعاد در دامنه میلی متر به دستگاه های MEMS در مقیاس meso گفته می شوند.