| ش | ی | د | س | چ | پ | ج |
| 1 | 2 | 3 | 4 | |||
| 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 |
| 12 | 13 | 14 | 15 | 16 | 17 | 18 |
| 19 | 20 | 21 | 22 | 23 | 24 | 25 |
| 26 | 27 | 28 | 29 | 30 | 31 |
فناوری نانو ساخت اخیراً پیشرفت چشمگیری داشته و اکنون می توان مقادیر بیشتر MEMS را به سیستم های نانوالکترومکانیکی (NEMS) مقیاس داد. ادغام MEMS / NEMS با عناصر نانوفوتونیک امکانات جدیدی را باز کرده و دستگاهها و سیستمهای فوتونیک جدید و کاربردی با قابلیت تنظیم دینامیکی ، عملکرد پیشرفته و سطح بالاتر از ادغام را ایجاد می کند.