نانولیتوگرافی

نانولیتوگرافی یک رشته تکنیک های در حال رشد در زمینه فناوری نانو است که با مهندسی (اچ، نوشتن، چاپ) ساختارهای نانومتری در ارتباط است. از یونانی، کلمه را می توان به سه بخش تقسیم کرد: "نانو" به معنای کوتوله است، "لیت" به معنی سنگ، و "گرافیکی" به معنای نوشتن، و یا "نوشته های کوچک بر روی سنگ".   امروزه کلمه توسعه یافته است تا پوشش ساختارهای ساختاری را در محدوده 10-9 تا 10-6 متر یا ساختارهای موجود در محدوده نانومتر توسعه دهد. اساسا، میدان مشتق شده از لیتوگرافی است، تنها پوشش ساختار به طور قابل توجهی کوچکتر است. تمام تکنیک های نانولیتوگرافی را می توان به دو دسته تقسیم کرد: آنهایی که مولکول ها را از پشت ساختار مورد نظر جدا می کنند و کسانی که به طور مستقیم ساختار مورد نظر را به یک سطح می نویسند (شبیه چاپگر سه بعدی یک ساختار را ایجاد می کند).

زمینه نانولیتوگرافی از نیاز به افزایش تعداد ترانزیستورها در یک مدار مجتمع به منظور حفظ قانون مور متولد شد. در حالیکه تکنیکهای لیتوگرافی از اواخر قرن 18 میلادی ساخته شده است، تا اواسط دهه 1950، ساختارهای نانومقیاس مورد استفاده قرار نگرفت. با تکامل صنعت نیمه هادی، تقاضا برای تکنیک های تولید ساختارهای میکرو و نانو مقیاس به شدت افزایش یافته است. برای اولین بار در سال 1958 از سن نانولیتوگرافی استفاده شد. از آن به بعد، فوتولیتوگرافی تبدیل شده است به عنوان یک تکنیک تجاری موفق ترین، قادر به تولید زیر الگوهای 100 نانومتر است. [2] چندین تکنیک مرتبط با زمینه وجود دارد که هر کدام برای خدمت به بسیاری از کاربردهای آن در صنایع پزشکی و نیمه هادی طراحی شده اند. دستیابی به موفقیت در این زمینه به طور قابل توجهی به پیشرفت فناوری نانو کمک می کند و امروزه به طور فزاینده ای مهم است زیرا تقاضا برای تراشه های کامپیوتری کوچکتر و کوچکتر افزایش می یابد. محدوده های بیشتری از تحقیق مربوط به محدودیت های فیزیکی در زمینه، برداشت انرژی و فوتونیک است. [2]