لیزر کریپتون فلوراید

لیزر کریپتون فلوراید (لیزر KrF) یک نوع خاص از لیزر اگزیمر است ، که گاهی (صحیح تر) لیزر exciplex نامیده می شود. این لیزر با طول موج 248 نانومتری ، یک لیزر عمیق ماوراء بنفش است که معمولاً در تولید مدارهای مجتمع نیمه هادی ، میکرو ماشین سازی صنعتی و تحقیقات علمی مورد استفاده قرار می گیرد.   اصطلاح excimer برای "تاریک هیجان زده" کوتاه است ، در حالی که exciplex برای "پیچیده هیجان زده" کوتاه است. یک لیزر اگزیمر به طور معمول حاوی مخلوطی از گازهای نجیب مانند آرگون ، کریپتون یا زنون است. و گاز هالوژن مانند فلوئور یا کلر. تحت شرایط مناسب شدید تحریک و فشار الکترومغناطیسی ، مخلوط پرتویی از تابش تحریک منسجم به عنوان نور لیزر در محدوده ماوراء بنفش ساطع می کند.

لیزرهای برانگیزنده KrF و ArF به طور گسترده در دستگاههای فوتولیتوگرافی با وضوح بالا ، یکی از ابزارهای مهم مورد نیاز برای تولید تراشه های میکروالکترونیکی در ابعاد نانومتر قرار گرفته اند. لیتوگرافی لیزر Excimer] باعث شده است تا اندازه ویژگی ترانزیستور از 800 نانومتر در 1990 به 10 نانومتر در سال 2016 کاهش یابد.