نور لیزر دارای چندین ویژگی فیزیکی منحصر به فرد است که می تواند برای کاربردهای اندازه گیری استفاده شود: طول و فرکانس بسیار مشخص تعریف شده ، قابلیت کانونیابی کامل (TEM00) ، انسجام نوری بالا یا پایین (کیفیت فاز) و حالت عملکرد cw / پالس (پایین به پالس fs) .   هر یک از این خصوصیات نور را می توان در اندازه گیری برای تعیین ابعاد بحرانی ، مسافت ، زاویه ، شکل ، ساختار داخلی ، ضخامت لایه ، آنالیز شیمیایی و غیره از نمونه ها در بازرسی خارج از خط یا درون خطی استفاده کرد.

از آنجا که اندازه گیری لیزر بدون تماس عمل می کند ، نه نمونه و نه ابزار اندازه گیری در طی فرآیند اندازه گیری تحت تأثیر قرار نمی گیرند. همچنین لیزر می تواند از راه دور از منطقه مورد نظر کار کند ، اطلاعات لازم را از مسافت طولانی ، در محیط شدید یا گرم شدید یا در هندسه بسیار محدود فراهم کند. امروزه اندازه گیری لیزر تقریباً در کلیه فرآیندهای تولید صنعتی مورد استفاده قرار می گیرد و از لیزرهای بسیار عمیق ماوراء بنفش تا طول موجهای مادون قرمز یا حتی Terahertz استفاده می شود.