از فیزیک لیزر گرفته تا بیولوژی سلول

پیشرفت اخیر از MEMS نوری به MEMS فوتونی ، نانوفوتونیک و MEMS بیو فوتونیک ، که نشان دهنده آخرین روند گسترش و نفوذ فناوری MEMS به نانو و نواحی زیستی است. انواع مختلف دستگاه به عنوان نمونه هایی از هم افزایی طبیعی MEMS با فوتونیک ها نشان داده شده است ، از جمله سوئیچ های حرارتی و نوری ، لیزرهای قابل تنظیم ، سیستم های لیزری قفل شده با تزریق ، دستگاه های باند باند نانو فوتونیک و تراشه های سلول بیو فوتونیک. استفاده از MEMS نه تنها یکپارچگی ، استحکام و فشردگی بهتری را ایجاد می کند ، بلکه باعث بهبود عملکرد و مشخصات دستگاه ها نیز می شود.