میکروسکوپ الکترونی روبشی

میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) نوعی میکروسکوپ الکترونی است که با اسکن سطح با پرتوی متمرکز الکترون ، تصاویر نمونه را تولید می کند. الکترونها با اتمهای موجود در نمونه ارتباط برقرار می کنند و سیگنالهای مختلفی را تولید می کنند که حاوی اطلاعاتی در مورد توپوگرافی سطح و ترکیب نمونه است. پرتو الکترون به صورت اسکن شطرنجی اسکن می شود و موقعیت پرتو با شدت سیگنال شناسایی شده ترکیب می شود و یک تصویر تولید می کند.   در رایج ترین حالت SEM ، الکترونهای ثانویه ساطع شده توسط اتمهای تحریک شده توسط پرتو الکترون با استفاده از ردیاب الکترونی ثانویه (آشکارساز Everhart-Thornley) شناسایی می شوند. تعداد الکترونهای ثانویه قابل تشخیص و در نتیجه شدت سیگنال ، از جمله موارد دیگر ، به توپوگرافی نمونه بستگی دارد. بعضی از SEM ها می توانند به وضوح بهتر از 1 نانومتر برسند.

نمونه ها در خلا high زیاد در یک SEM معمولی یا در خلا low کم یا شرایط مرطوب در فشار متغیر یا SEM محیطی و در طیف وسیعی از دمای برودتی یا بالا با ابزارهای ویژه مشاهده می شوند