لیزرهای اگزایمر

لیزرهای اگزایمر

لیزرهای اگزایمر با رقابت شدیدی از لیزرهای حالت جامد روبرو هستند، اگرچه آنها همچنان کارآمدترین دسترسی را به ناحیه طیفی فرابنفش ارائه می‌دهند - با انرژی‌های بالا، و اوج بالا و توان متوسط ​​در عملکرد پالسی. با این حال، آنها دارای معایبی هستند، مانند کیفیت ضعیف تیر (ساختار با حالت بالاتر و واگرایی بالا)، اندازه، هزینه های عملیاتی و الزامات نگهداری. متخصصان در این زمینه می گویند که این شهرت ماندگار برای عملکرد نابسامان در حال حاضر به دلیل پیشرفت در فناوری در سال های اخیر تا حد زیادی شایسته نیست.

لیزرهای اگزایمر، همراه با لیزرهای نیتروژن، محبوب ترین لیزرهای گازی هستند که تابش در محدوده فرابنفش تولید می کنند. محیط فعال مخلوطی از گاز نجیب، گاز هالوژن و گاز بافر - معمولا نئون است. مخلوط گاز در یک لیزر اکسایمر معمولی شامل 2 تا 9 درصد گاز نجیب، 0.2 درصد گاز هالوژن و 90 تا 98 درصد از گاز بافر است که به عنوان وسیله ای برای انتقال انرژی عمل می کند. این مخلوط در یک مخزن تحت فشار، معمولاً با فشار 3500-5000 میلی‌بار، محبوس می‌شود و معمولاً با تخلیه الکتریکی سریع چند ده نانوثانیه تحریک می‌شود. هالیدهای گازهای نجیب مانند ArF، KrF، XeF، XeCl که عمر کوتاهی دارند و در حالت پایه ناپایدار هستند، در مخلوط گاز ایجاد می شوند.