میکروسکوپ الکترونی

میکروسکوپ الکترونی

تا قبل از اختراع میکروسکوپ زیر پراش، طول موج نور وضوح میکروسکوپ سنتی را به حدود 0.2 میکرومتر محدود می کرد. برای به دست آوردن وضوح بالاتر، استفاده از پرتوهای الکترونی با طول موج به مراتب کمتر در میکروسکوپ های الکترونی استفاده می شود.

میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM) کاملاً شبیه به میکروسکوپ نوری مرکب است، با ارسال یک پرتو الکترونی از طریق یک برش بسیار نازک از نمونه. محدودیت تفکیک پذیری در سال 2005 حدود 0.05 نانومتر [مشکوک – بحث] بود و از آن زمان تا کنون افزایش محسوسی نداشته است.

میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) جزئیات روی سطوح نمونه ها را تجسم می کند و نمای سه بعدی بسیار خوبی ارائه می دهد. نتایجی بسیار شبیه به نتایج میکروسکوپ نوری استریو می دهد. بهترین وضوح برای SEM در سال 2011 0.4 نانومتر بود.

میکروسکوپ های الکترونی مجهز به طیف سنجی اشعه ایکس می توانند تجزیه و تحلیل عنصری کمی و کیفی را ارائه دهند. این نوع میکروسکوپ الکترونی که با نام میکروسکوپ الکترونی تحلیلی نیز شناخته می‌شود، می‌تواند ابزار بسیار قدرتمندی برای بررسی نانومواد باشد.