ویبرومتر داپلر لیزری

لطفا توجه داشته باشید که محتوای این کتاب در درجه اول شامل مقالاتی است که از ویکی پدیا یا سایر منابع رایگان بصورت آنلاین در دسترس است. ویبرومتر لیزر داپلر (LDV) ابزاری علمی است که برای اندازه گیری ارتعاشات غیر تماسی سطح استفاده می شود. پرتوی لیزر از LDV به سطح مورد نظر هدایت می شود و دامنه و فرکانس ارتعاش به دلیل حرکت سطح از شیفت داپلر فرکانس پرتوی لیزر استخراج می شود. خروجی LDV به طور کلی یک ولتاژ آنالوگ مداوم است که مستقیماً با مولفه اجزا  سرعت هدف در امتداد جهت پرتو لیزر متناسب است.  

سیستم های اندازه گیری نوری پیشرفته برای مشخص کردن دستگاه های MEMS

طیف گسترده ای از سیستم های اندازه گیری برای توصیف نوری دستگاه های MEMS در دسترس است. این سیستم های اندازه گیری فن آوری های متنوعی در دسترس هستند که می توانند بسیاری از خصوصیات فیزیکی واگرا را اندازه گیری کنند (اینها شامل ضخامت فیلم ، ابعاد ، مقطع ، ارتفاع پله ، زبری ، نوری ، استرس ، زمان پاسخ ، کشش مدول ، فرکانس رزونانس ، انبساط حرارتی و غیره است). )