یک لیزر اشعه ایکس دستگاهی است که از انتشار تحریک شده برای تولید یا تقویت تابش الکترومغناطیسی در نزدیکی اشعه ایکس یا منطقه فرورفتگی فوق العاده ای از طیف استفاده می کند، که معمولا به ترتیب چندین نانومتر (نانومتر) طول موج است.
لیزرهای اگزایمر، لیزرهای قدرتمند ماوراء بنفش هستند که از مخلوطی از گازهای نجیب و هالوژن به عنوان یک محیط به دست آوردن استفاده می کنند.