| ش | ی | د | س | چ | پ | ج |
| 1 | 2 | 3 | 4 | |||
| 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 |
| 12 | 13 | 14 | 15 | 16 | 17 | 18 |
| 19 | 20 | 21 | 22 | 23 | 24 | 25 |
| 26 | 27 | 28 | 29 | 30 | 31 |
لیزر آرگون فلوراید (لیزر ArF) یک نوع خاص از لیزر اگزایمر است ، که گاهی اوقات (با صحیح تر) لیزر exciplex نامیده می شود. این لیزر با طول موج 193 نانومتری ، یک لیزر عمیق ماوراء بنفش است که معمولاً در تولید مدارهای یکپارچه نیمه هادی ، جراحی چشم ، میکروماشین و تحقیقات علمی مورد استفاده قرار می گیرد. "Excimer" برای "تاریک هیجان زده" کوتاه است ، در حالی که "exciplex" برای "پیچیده هیجان زده" کوتاه است. یک لیزر اگزیمر به طور معمول از مخلوطی از گاز نجیب (آرگون ، کریپتون یا زنون) و یک گاز هالوژن (فلوئور یا کلر) استفاده می کند ، که در شرایط مناسب تحریک الکتریکی و فشار زیاد ، اشعه تحریک شده منسجم (نور لیزر) را در دامنه ماوراء بنفش
لیزرهای برانگیزنده ArF (و KrF) به طور گسترده در ماشینهای فوتولیتوگرافی با وضوح بالا مورد استفاده قرار می گیرند ، یکی از فناوری های مهم مورد نیاز برای ساخت تراشه های میکروالکترونیکی است. لیتوگرافی لیزر Excimer باعث شده است تا اندازه ویژگی ترانزیستور از 800 نانومتر در 1990 به 7 نانومتر در سال 2018 کاهش یابد.