فیزیک نوری برای نانولیتوگرافی

1 مقدماتی ریاضی

1.1 قضیه های میانگین معادلات یکپارچه

1.2 عملکرد دلتا

     1.2.1 نمایندگی از عملکرد دلتا

     1.2.2 خواص عملکرد دلتا

  1.3 قضیه تقریبی وایرشتراس

1.4 تبدیل فوریه

     1.4.1 قضیه تبدیل فوریه

     1.4.2 جفت تبدیل مفید فوریه

     1.4.3 سری فوریه

     1.4.4 قضیه نمونه برداری Nyquist برای یک سیگنال محدود باند و بازسازی آن

1.5 جبر بردار

1.6 Vector Calculus

     1.6.1 اپراتور دل

     1.6.2 گرادیان یک میدان اسکالر

     1.6.3 قضیه گاوس

     1.6.4 فرم های اضافی قضیه گاوس

     1.6.5 هویت های سبز

     1.6.6 قضیه استوکس

     1.6.7 فرم های دیگر قضیه استوکس

     1.6.8 هویت های بردار مفید

1.7 مختصات انحرافی

1.8 راه حل معادله پواسون

1.9 قضیه هلمولتز

پیوست 1.1

پیوست 1.2

پیوست 1.3

پیوست 1.4

2 امواج الکترومغناطیسی در فضای آزاد

2.1 معادلات ماکسول در فضای آزاد

2.2 تابش الکترومغناطیسی

2.3 راه حل سیستماتیک معادلات موج ناهمگن با شرایط مرزی و اولیه

2.4 راه حل معادلات موج نامتغیر با وابستگی زمانی هارمونیک

پیوست 2.1

پیوست 2.2

پیوست 2.3

پیوست 2.4

3 موج الکترومغناطیسی در رسانه های مواد

3.1 زمینه های ماکروسکوپی در رسانه های مواد

3.2 انرژی در میدان های الکترومغناطیسی

3.3 هرتز بردار

3.4 زمینه های الکتریکی دوقطبی

3.5 خواص دی الکتریک ماده

3.6 فیزیکی منشا بازتاب و انتقال؛ قضیه انقراض Ewald-Oseen

3.7 بازتاب و انتقال پس از بروز در پشته چند لایه

     3.7.1 بردار موج در داخل هر لایه

     3.7.2 بازتاب و انتقال در رابط بین دو لایه

     3.7.3 ردیابی ضرایب بازتاب و انتقال

     3.7.4 ردیابی میدان الکتریکی در لایه مقاوم

     3.7.5 مشتق برداری از بردار Poynting

پیوست 3.1

پیوست 3.1a

پیوست 3.2

پیوست 3.2a

4 عنصر اپتیک هندسی

4.1 موجهای جرمی و پرتوهای نور

4.2 اصل فرما

4.3 توابع مشخصه همیلتون

4.4 وضعیت شرطی

4.5 وضعیت هرشل

4.6 تقریب تقریبی

4.7 اسماعیل هلمولتز غیرقابل پیشبینی

4.8 فرمول نازک لنز

4.9 توقف، دانش آموزان و ویندوز

4.10 رشته های سر و گردن؛ هواپیما Meridional، Tangential و Sagittal؛ رگه های مریدونی و سکته

پیوست 4.1

ضمیمه 4.2

5 پراکندگی امواج الکترومغناطیسی

5.1 نظریه Scalar تفرق

5.2 تقریبهای فرنل و فرن هوفر

5.3 نمایندگی میدان تفکیک شده توسط طیف زاویه ای امواج هواپیما

5.4 تئوری برداری دیفرانسیل

پیوست 5.1

پیوست 5.2

پیوست 5.3a

ضمیمه 5.3b

پیوست 5.4

6 شکل گیری تصویر در یک سیستم نوری

6.1 تئوری تصویربرداری هورستیک

6.2 سیستم تصویربرداری لیتوگرافی

6.3 تصویربرداری توسط یک منبع نقطه: تصویربرداری منسجم

6.4 تصویربرداری توسط یک منبع پیشرفته: تصویربرداری یکپارچه بخشی

6.5 فرمول بندی دانش آموزان تغییر یافته یاموزو

6.6 تصویربرداری با دیافراگم عددی بالاتر: تصحیح رادیومتریک

6.7 عملکرد سه بعدی نقطه ای

6.8 تصویربرداری با دیافراگم عددی بالاتر: اثر قطبش

     6.8.1 تغییر قطبی شدن به علت تمرکز

     6.8.2 تغییر قطبش پس از ورود به لایه مقاوم درون یک پشته فیلم نازک

پیوست 6.1

پیوست 6.2

پیوست 6.3

پیوست 6.4

7 انحراف در سیستم های تصویربرداری نوری

7.1 طراحی سطوح آسفریال

     7.1.1 دستیابی به ننگ زدگی محوری با استفاده از یک سطح ناهموار

     7.1.2 دستیابی به روحانیون با استفاده از دو سطح ناهموار

7.2 اتصال بین ریز و رگبار موج

7.3 انحراف موج برای سیستم های نوری متقارن چرخشی: اختلالات سایید

7.4 شکل عمومی عملکرد تضاد برای سیستم های نوری متقارن چرخشی

7.5 معیاری: فرایند ارتقایی گرام-اشمیت و چندجملهای ارتجاعی

7.6 چندجملهایهای ارتوگنال برای گسترش تابع انحراف: چندجملهای Zernike

ضمیمه 7.1

پیوست 7.2