لیزر فلوراید کریپتون

لیزر کریپتون فلوراید (لیزر KrF) نوع خاصی از لیزر اگزایمر است ،  که گاهی اوقات (به طور صحیح تر) لیزر اکسایپلکس نامیده می شود. این لیزر با طول موج 248 نانومتری خود ، یک لیزر ماورا بنفش عمیق است که معمولاً در تولید مدارهای مجتمع نیمه هادی ، ریز ماشین سازی صنعتی و تحقیقات علمی مورد استفاده قرار می گیرد. اصطلاح Excimer کوتاه کلمه "dimer هیجان زده" است ، در حالی که exciplex کوتاه "excited complex" است. لیزر اگزایمر معمولاً مخلوطی از: یک گاز نجیب مانند آرگون ، کریپتون یا زنون دارد. و یک گاز هالوژن مانند فلورین یا کلر. در شرایط کاملاً مناسب تحریک الکترومغناطیسی و فشار ، این مخلوط پرتویی از تابش تحریک شده منسجم را به عنوان نور لیزر در محدوده فرابنفش منتشر می کند.

لیزرهای اگزایمر KrF و ArF به طور گسترده ای در دستگاه های نوری با وضوح بالا گنجانیده شده اند ، یکی از ابزارهای مهم مورد نیاز برای تولید تراشه های میکروالکترونیک در ابعاد نانومتر. لیتوگرافی لیزر Excimer   اندازه ویژگی های ترانزیستور را قادر ساخته است تا از 800 نانومتر در سال 1990 به 10 نانومتر در 2016 کاهش یابد. [