کاربردهای لیزر فلوراید کریپتون

لیزر KrF در آزمایش های حبس اینرسی در جامعه تحقیقات انرژی تلفیقی هسته ای مفید بوده است. این لیزر از یکنواختی پرتو بالا ، طول موج کوتاه و ویژگی اندازه لکه قابل تنظیم برخوردار است.

در سال 1985 آزمایشگاه ملی لوس آلاموس آزمایش شلیک لیزر KrF آزمایشی را با سطح انرژی 1.0 × 104 ژول به پایان رساند. واحد آزمایشگاه تحقیقات دریایی لیزر پلاسما ، یک لیزر KrF به نام لیزر نایک را تکمیل کرد که می تواند حدود 4.5 × 103 ژول انرژی فرابنفش در یک پالس 4 نانو ثانیه تولید کند. کنت گربر نیروی محرکه این پروژه بود. از لیزر اخیر در آزمایش های لیزر استفاده می شود.

لیزر فلوراید کریپتون

لیزر کریپتون فلوراید (لیزر KrF) نوع خاصی از لیزر اگزایمر است ،  که گاهی اوقات (به طور صحیح تر) لیزر اکسایپلکس نامیده می شود. این لیزر با طول موج 248 نانومتری خود ، یک لیزر ماورا بنفش عمیق است که معمولاً در تولید مدارهای مجتمع نیمه هادی ، ریز ماشین سازی صنعتی و تحقیقات علمی مورد استفاده قرار می گیرد. اصطلاح Excimer کوتاه کلمه "dimer هیجان زده" است ، در حالی که exciplex کوتاه "excited complex" است. لیزر اگزایمر معمولاً مخلوطی از: یک گاز نجیب مانند آرگون ، کریپتون یا زنون دارد. و یک گاز هالوژن مانند فلورین یا کلر. در شرایط کاملاً مناسب تحریک الکترومغناطیسی و فشار ، این مخلوط پرتویی از تابش تحریک شده منسجم را به عنوان نور لیزر در محدوده فرابنفش منتشر می کند.

ستون پلاسما

ستون پلاسما

در هنگام رسوب ، کربن بی شکل از طریق یک لیزر KrF با انرژی زیاد از یک هدف جامد تبخیر شده ، یونیزه می شود و به عنوان یک توده پلاسما خارج می شود. ستون به سمت خارج منبسط شده و مواد مورد نظر را بر روی یک لایه رسوب می دهد. خصوصیات پلاسمائی ستون کیفیت فیلمهای نازک رسوب شده روی بستر را تعیین می کند.