لیزر فلوراید کریپتون

لیزر کریپتون فلوراید (لیزر KrF) نوع خاصی از لیزر اگزایمر است ،  که گاهی اوقات (به طور صحیح تر) لیزر اکسایپلکس نامیده می شود. این لیزر با طول موج 248 نانومتری خود ، یک لیزر ماورا بنفش عمیق است که معمولاً در تولید مدارهای مجتمع نیمه هادی ، ریز ماشین سازی صنعتی و تحقیقات علمی مورد استفاده قرار می گیرد. اصطلاح Excimer کوتاه کلمه "dimer هیجان زده" است ، در حالی که exciplex کوتاه "excited complex" است. لیزر اگزایمر معمولاً مخلوطی از: یک گاز نجیب مانند آرگون ، کریپتون یا زنون دارد. و یک گاز هالوژن مانند فلورین یا کلر. در شرایط کاملاً مناسب تحریک الکترومغناطیسی و فشار ، این مخلوط پرتویی از تابش تحریک شده منسجم را به عنوان نور لیزر در محدوده فرابنفش منتشر می کند.